Der Auflösungstest JIMA RT RC-04 ist ein lithographisch hergestelltes Testmuster zur Einrichtung und Prüfung von Mikrofokus-Röntgenanlagen. Es unterstützt Auflösungen zwischen 0.1 µm und 10 µm, welches Brennfleckgrößen zwischen 0.2 µm und 20 µm entspricht. Auf einem Silizium-Träger sind Linienbündel unterschiedlicher Abstände aufgebracht.
Layout + Verpackung und Querschnitt
Layout + Verpackung des JIMA RT RC-04 Auflösungstests
Struktur des JIMA RT RC-04 Auflösungstests
JIMA RT RC-04 Auflösungstest
JIMA RT RC-04 Auflösungstest
Technische Daten
- Größe Linien und Leerraum: 0.1, 0.15, 0.2, 0.25, 0.3, 0.35, 0.4, 0.5, 0.6, 0.7, 0.8, 0.9, 1.0, 1.5, 2.0, 3.0 ,4.0 ,5.0 ,6.0, 7.0, 8.0, 9.0,10.0 µm (Linien und Leerraum haben die gleiche Breite)
- Jedes Testmuster besteht aus 8 Linien, T-Form Layout
- Absorptionsmaterial: Wolfram, Dicke >= 650nm
- Schutzfilm: PET-Film 25μm (inklusive Klebung)
- Silizium-basiert: 15 µm +/- 1µm (Dicke)
- Gehäuse-Größe: 40 x 30 x 5 mm (W x H x D)
- Chip-Größe: 5 x 5 x 0.06 mm (W x H x D)
- Genauigkeit Muster: Toleranz: +/- 10%
- Umfang Betriebstemperatur: 10°C bis 70°C
Empfohlene Anwendung
Fixieren Sie den Auflösungstest auf dem Manipulator ihres Röntgensystems. Wählen Sie die Abstände von Detektor, Probe und Röhre so, dass eine möglichst hohe Vergrößerung erreicht wird. Wählen Sie nun die gewünschten Röntgenparameter. Positionieren Sie das Testmuster so vor der Röhre, dass die einzelnen Linien eines Linienbündels klar erkennbar sind. Verfahren Sie den Auflösungstest mit dem Manipulator so, dass das nächstkleinere Linienbündel sichtbar wird. Fahren Sie fort, solange die Linien klar erkennbar sind. Näherungsweise gilt: Brennfleckgröße gleich Auflösung multipliziert mit zwei.
Achtung: Minimieren Sie die Strahldauer. Die Hitzeentwicklung am Target bei zu langen Strahlzeiten kann zu Aufschmelzung des Testmusters führen.
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