JIMA RT RC-02B Auflösungstest

• Abstände der Linienbündel: 0.4, 0.5, 0.6, 0.7, 0.8, 0.9, 1.0, 1.5, 2.0, 3.0, 4.0, 5.0, 6.0, 7.0, 10.0, 15.0 µm
• Größe des Testrahmens: 40 x 30 x 5 mm (B x H x T)
• Größe des Silizium-Trägers: 5 x 5 x 0.6 mm (B x H x T)
• Dicke des absorbierenden Materials: 1 µm (Wolfram)
• Die Linienabstände der Testmuster werden mit einem Elektronenmikroskop (SEM) vermessen und in einem mitgelieferten Protokoll vermerkt.
• Die Messungenauigkeit beträgt [0% , +10%] für Testmuster ≤ 2 µm und [0% , +8%] für Testmuster ≥ 3 µm.
• Zulässiger Temperaturbereich: 10° bis 70°C

Fixieren Sie den Auflösungstest auf dem Manipulator ihres Röntgensystems. Wählen Sie die Abstände von Detektor, Probe und Röhre so, dass eine möglichst hohe Vergrößerung erreicht wird. Wählen Sie die Röntgenparameter im Bereich zwischen 60kV und 90kV. Stellen Sie einen geringen Strom ein, um den Brennfleck möglichst klein zu halten. Positionieren Sie nun das Testmuster so vor der Röhre, dass die einzelnen Linien gut erkennbar sind. Optimieren Sie die Röntgenparameter mit Hinblick auf einen möglichst kleinen Brennfleck, d.h. reduzieren Sie die Röhrenleistung so lange, wie die Testmuster noch klar erkennbar sind. Verfahren Sie den Auflösungstest mit dem Manipulator so, dass das nächstkleinere Linienbündel sichtbar wird. Fahren Sie fort, solange die Linien klar erkennbar sind. Näherungsweise gilt: Brennfleckgröße gleich Auflösung multipliziert mit zwei.