Speziell für Anwendungen in der Halbleiterindustrie hat X-RAY WorX die High Energy Stabanodenröhre mit Transmissionstarget für bis zu 25 Watt Targetleistung entwickelt. Die Stabanode ermöglicht eine Positionierung der Röntgenquelle direkt auf dem zu prüfenden Bauteil, so dass extrem hohe Vergrößerungen erreicht werden können.

Für die maximale Targetleistung von 25 Watt ist das leicht austauschbare High Energy Transmissionstarget (Typ P4HE) verantwortlich. Die Stabanode kann in unterschiedlichen Längen geliefert werden und somit für den Einsatz an unterschiedlichen Prüfaufgaben und Komponenten optimiert werden.

Die unten abgebildete Variante XWT-160-RA-30-15-P4HE hat 15 mm Durchmesser und 30 mm Länge. Sie liefert eine maximale JIMA-Auflösung von 4 µm bei 45 kV und 2 Watt Targetleistung. Bei einem Detektorabstand von 600 mm kann eine mehr als 2000-fache Vergrößerung erreicht werden. Die High Energy Stabanodenröhre wird mit Beschleunigungsspannungen von 100 kV, 160 kV, 190 kV, 225 kV und 240 kV angeboten.

XWT-160-RA High Energy
High Energy Stabanodenröhre mit Transmissionstarget für bis zu 25 Watt Targetleistung