Das Entwicklungszentrum Röntgentechnik (EZRT), eine Gemeinschaftsabteilung der Fraunhofer Institute IIS (Erlangen) und IZFP (Saarbrücken und Dresden), hat die neue hochauflösende Röntgenröhre XWT-100-TCHR von X-RAY WorX installiert.

Das Entwicklungszentrum Röntgentechnik in Erlangen entwickelt neue Methoden der Röntgentechnik im Zusammenhang mit der zerstörungsfreien Prüfung unterschiedlichster Materialien sowie der Überwachung von Fertigungsprozessen. Die hochstabile Submikrofokus Röntgenröhre XWT-100-TCHR von X-RAY WorX wird vor allem bei Langzeit-Computertomographie- (CT-) Scans eingesetzt. Die Anwendungsgebiete liegen dabei insbesondere in der hochauflösenden dreidimensionalen Analyse schwach absorbierender Materialen wie Halbleiterbausteinen.

Damit die Stabilität der Brennfleckposition und eine konstante Röntgenleistung auch über lange Scanzeiten hinweg gewährleistet werden können, verfügt die XWT-100-TCHR über eine spezielle Kühlung der Elektronenoptik sowie eine vibrationsfrei Wasserkühlung der Turbopumpe. Bei der Überprüfung der Röntgenröhre mit der JIMA Testmaske RT RC-02 , einem standardisierten Auflösungstest für hochauflösende Röntgenröhren, ermöglicht die XWT-100-TCHR die Darstellung von Linienpaaren mit 0,5µm und 0,4µm Linienabstand. Details dieser Untersuchung wurden von Mitarbeitern des EZRT auf der World Conference on NDT (WCNDT) im April 2012 vorgetragen (siehe auch Proceedings of WCNDT 2012).

Die neue Röhre liefert Beschleunigungsspannungen bis zu 100kV. Zudem ermöglicht das High Magnifcation Spezialtarget höchste geometrische Vergrößerung bis zum 5000-fachen bei 50 cm Detektorabstand und 10.000-fachen bei einem Meter Detektorabstand vom Röhrenfenster. Somit übertrifft die XWT-100-TCHR die maximale geometrische Vergrößerung herkömmlicher Mikrofokus-Röntgenröhren um mehr als das Doppelte. Diese hohen Vergrößerungen sind vor allem bei der Prüfung von neuen Materialien wie faserverstärkten Kunststoffen und Nanomaterialien von großer Bedeutung.