Produktlinie TCNF

Mikrofokus-Röntgenröhren der Produktlinie TCNF mit innovativer Innenkühlung, welche die Brennfleckwanderung um mehr als 90% reduziert, eignen sich besonders für die Computertomographie (CT), die Metrologie (DM) sowie die hochauflösende Röntgeninspektion (HR) in der Elektronikindustrie und in wissenschaftlichen Instituten. Die Röntgenröhren der Produktlinie TCNF besitzen eine interne flüssige Kühlung des Röhrenkopfes für eine stabile Brennfleckposition. Eine flüssige Kühlung der Turbopumpe verhindert zudem Vibrationen. TCNF-Röntgenröhren erreichen eine JIMA-Auflösung von 0.5 Mikrometern (μm) und ermöglichen durch das High Resolution Diamond Target höchste Vergrößerungen - insbesondere für die Halbleiter- und Elektronikindustrie sowie die Prüfung von Verbundstoffen.

Produktlinie TCNF

Mikrofokus Röntgenröhre mit Transmissionstarget

Mikrofokus Röntgenröhre XWT-160-TCNF

Highlights

  • Ultimative JIMA-Auflösung und Vergrößerung für Röntgenanwendungen in der Halbleiter-, Elektronik- und Verbundstoffindustrie
  • Hervorragend geeignet für Inline-und Offline-Inspektionen sowie die zwei-und dreidimensionale Röntgenprüfung (2D/3D)
  • Flüssiges Kühlsystem des Röhrenkopfes zur Stabilisierung der Brennfleck-Position - weniger als  +/- 1 µm Brennfleckwanderung *
  • Flüssigkeitskühlung der Turbopumpe zur Vermeidung von Vibrationen
  • Automatisches Entlüftungsventil für eine lange Lebensdauer der Vakuum-Komponenten
* unter Laborbedingungen

Rating

Auflösung
Aufloesung - 5 Sterne
Leistung
Leistung - 3 Sterne
Vergrößerung
Vergroesserung - 5 Sterne

Anwendungen

Mikrofokus-Computertomographie (CT) Dimensionelles Messen (DM) in Röntgenbildern Höchstauflösende Röntgenmikroskopie (HR)

Einsatzgebiete

Röntgeninspektion in der Elektronikindustrie

Zerstörungsfreie Röntgeninspektion in der Elektronikindustrie, z.B.:
  • Ball Grid Arrays (BGAs), integrierte Schaltungen (ICs, engl. integrated circuits), Bonddrähte
  • Halbleiter-Packaging (Dioden, Wafer-Bumps, Kupfer)
  • Abgeschirmte Geräte, Gehäuse, komplette Module
  • Wafer-Level-Chips-Scale Gehäuse (WLCSP, engl. wafer level chips scale packaging)
  • Quad-Flat-Packages (QFN), u. ä. Komponenten
  • Bestückte Leiterplatten, verdeckte Verbindungen und Komponenten
  • Unbestückte Leiterplatten, Multilayer-Boards
  • Leistungsmodule, IGBT Module

Zerstörungsfreie Röntgeninspektionen in wissenschaftlichen Forschungsinstituten

Zerstörungsfreie Röntgeninspektion in wissenschaftlichen Forschungsinstituten, z.B.:
  • Plastik, Keramik, Leichtmetalle
  • Verbundwerkstoffe, faserverstärkte Werkstoffe
  • Organische Materialien, Samen, Baumstämme
  • Bodenproben, Eisbohrkerne
  • Beton, Stein
  • Archäologische Fundstücke, Gemälde, Statuen
  • Supraleitende Materialen

Technische Details

Daten Produktlinie TCNF
Max. Spannung (kV) 160 190 225
Min. Spannung (kV) 20
Max. Strom (mA) 1,0
Min. Strom (mA) 0,05
Max. Leistung, Emission (Watt) 80
Max. Leistung, Target (Watt) 25
JIMA-Auflösung (µm) 0,5
Röhren-Typ Transmission
Target-Typ High Resolution Diamond
Target-Material (Trägerschicht / aktive Ebene) Diamant / Wolfram
Min. Fokus-Objekt-Distanz (FOD, mm) 0,3
Öffnungswinkel (ca. °) 160
Installationslänge inkl. 90° HV-Stecker (mm) 739 739 810
Gewicht der Röntgenröhre (ca. kg) 38 38 58

Technische Details Produktlinie TCNF

Max. Spannung: 160 kV, 190 kV, 225 kV

Min. Spannung: 20 kV

Max. Strom: 1,0 mA

Min. Strom: 0,05 mA

Max. Leistung, Emission: 80 Watt

Max. Leistung, Target: 25 Watt

JIMA-Auflösung: 0,5 µm

Röhren-Typ: Transmission

Target-Typ: High Resolution Diamond

Target-Material (Trägerschicht / aktive Ebene): Diamant / Wolfram

Min. Fokus-Objekt-Distanz (FOD): 0,3 mm

Öffnungswinkel (ca.): 160°

Installationslänge inkl. 90° HV-Stecker:

  • 160 kV, 190 kV: 739 mm
  • 225 kV: 810 mm

Gewicht der Röntgenröhre (ca.):

  • 160 kV, 190 kV: 38 kg
  • 225 kV: 58 kg

Lieferumfang

  • Offene Mikrofokus-Röntgenröhre mit Transmissionstarget, Turbo-Vakuumpumpe, Vakuummessgerät sowie Antriebselektronik
  • Kühlelement für die Turbopumpe
  • Interne Wasserkühlung des Röhrenkopfes
  • Hochspannungsgenerator und Hochspannungskabel
  • Vorvakuumpumpe mit Unterdruckschlauch
  • Kühleinheit mit Schläuchen und Kühlflüssigkeit
  • Röhrensteuerung, Netzteil und Sicherheitsrelais auf 19″ Montageplatten
  • Kabelsatz für elektrische Verbindungen der Röntgenröhre und die übrigen Komponenten
  • Ersatzteilkoffer, Dokumentation und Bedienungssoftware

Optionen und Zubehör

  • Transmissionstargets mit unterschiedlichen Beschichtungen: Molybdän, Kupfer oder Silber
  • Strahlen-Kollimatoren
  • Filter-Halterung (inklusive Aluminium- und Kupfer-Filter unterschiedlicher Dicke)
  • 50 W Target-Leistung mit interner Target-Kühlung
  • Röhren-Verlängerung mit Befestigungsgewinde am Röhrenkopf
  • 19″ Rack für Steuerung und Stromversorgung inklusive Startknopf und Warnlampe
  • Steuerungscomputer
  • Austauschbarer Röhrenkopf mit Reflexionstarget für bis zu 350 Watt Leistung

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