Der Auflösungstest JIMA RT RC-02B ist ein lithographisch hergestelltes Testmuster zur Einrichtung und Prüfung von Mikro- und Nanofokus-Röntgenanlagen. Es unterstützt Auflösungen zwischen 0,4 µm und 15 µm, was Brennfleckgrößen zwischen 0,8 µm und 30 µm entspricht. Auf einem Siliziumträger sind Linienbündel unterschiedlicher Abstände aufgebracht.

Layout + Verpackung und Querschnitt

Layout + Verpackung und Querschnitt

Layout + Verpackung des JIMA RT RC-02B Auflösungstests

 

Querschnitt-JIMA-RT-RC-02B

Querschnittsansicht des JIMA RT RC-02B Auflösungstests

JIMA RT RC-02B Auflösungstest

JIMA RT RC-02B Auflösungstest

JIMA RT RC-02B Auflösungstest

Technische Daten

  • Abstände der Linienbündel: 0.4, 0.5, 0.6, 0.7, 0.8, 0.9, 1.0, 1.5, 2.0, 3.0, 4.0, 5.0, 6.0, 7.0, 10.0, 15.0 µm
  • Größe des Testrahmens: 40 x 30 x 5 mm (B x H x T)
  • Größe des Silizium-Trägers: 5 x 5 x 0.6 mm (B x H x T)
  • Dicke des absorbierenden Materials: 1 µm (Wolfram)
  • Die Linienabstände der Testmuster werden mit einem Elektronenmikroskop (SEM) vermessen und in einem mitgelieferten Protokoll vermerkt.
  • Die Messungenauigkeit beträgt [0% , +10%] für Testmuster ≤ 2 µm und [0% , +8%] für Testmuster ≥ 3 µm.
  • Zulässiger Temperaturbereich: 10° bis 70°C

Empfohlene Anwendung

Fixieren Sie den Auflösungstest auf dem Manipulator ihres Röntgensystems. Wählen Sie die Abstände von Detektor, Probe und Röhre so, dass eine möglichst hohe Vergrößerung erreicht wird. Wählen Sie die Röntgenparameter im Bereich zwischen 60kV und 90kV. Stellen Sie einen geringen Strom ein, um den Brennfleck möglichst klein zu halten. Positionieren Sie nun das Testmuster so vor der Röhre, dass die einzelnen Linien gut erkennbar sind. Optimieren Sie die Röntgenparameter mit Hinblick auf einen möglichst kleinen Brennfleck, d.h. reduzieren Sie die Röhrenleistung so lange, wie die Testmuster noch klar erkennbar sind. Verfahren Sie den Auflösungstest mit dem Manipulator so, dass das nächstkleinere Linienbündel sichtbar wird. Fahren Sie fort, solange die Linien klar erkennbar sind. Näherungsweise gilt: Brennfleckgröße gleich Auflösung multipliziert mit zwei.

 

Achtung: Minimieren Sie die Strahldauer. Die Hitzeentwicklung am Target bei zu langen Strahlzeiten kann zu Aufschmelzung des Testmusters führen.

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