Die regelmäßige Überprüfung der Auflösung sichert eine hohe Qualität der Ergebnisse (Röntgenbilder) Ihres Mikro- oder Nanofokus-Röntgeninspektionssystems. Der JIMA (Japan Inspection Instruments Manufacturers' Association) Auflösungstest erlaubt Ihnen die Überprüfung Ihrer Röntgen-Bildkette bis zu einer Auflösung von 0,1µm (Mikron). Es stehen drei Testmuster für unterschiedliche Auflösungsbereiche sowie ein Testmuster für die Computertomographie zur Verfügung:

Der Auflösungstest JIMA RT RC-02B ist ein lithographisch hergestelltes Testmuster zur Einrichtung und Prüfung von Mikro- und Nanofokus-Röntgenanlagen. Es unterstützt Auflösungen zwischen 0,4 µm und 15 µm, was Brennfleckgrößen zwischen 0,8 µm und 30 µm entspricht. Auf einem Siliziumträger sind Linienbündel unterschiedlicher Abstände aufgebracht.

Der Auflösungstest JIMA RT RC-04 ist ein lithographisch hergestelltes Testmuster zur Einrichtung und Prüfung von Mikrofokus-Röntgenanlagen. Es unterstützt Auflösungen zwischen 0.1 µm und 10 µm, welches Brennfleckgrößen zwischen 0.2 µm und 20 µm entspricht. Auf einem Silizium-Träger sind Linienbündel unterschiedlicher Abstände aufgebracht.

Der Auflösungstest JIMA RT RC-05 ist ein lithographisch hergestelltes Testmuster zur Einrichtung und Prüfung von Mikrofokus-Röntgenanlagen. Es unterstützt Auflösungen zwischen 3 µm und 50 µm, was Brennfleckgrößen zwischen 6 µm und 100 µm entspricht. Auf einem Siliziumträger sind Linienbündel unterschiedlicher Abstände aufgebracht.

Modernste Technologien aus der Halbleiterindustrie haben dabei geholfen, einen neuen JIMA-Auflösungstest speziell für Computertomographie-Anwendungen zu entwickeln. Der Test verwendet Gold (Au) als Absorptionsmaterial und bietet 5 unterschiedlich breite Linien und Zwischenräumen im Bereich von 3 bis 7 Mikrometer. Der neue JIMA-Auflösungstest eignet sich hervorragend, um die Genauigkeit von Mikrofokus-Computertomographiesystem während der Kalibrierung, Ausrichtung, Einrichtung bzw. nach einer Wartung zu überprüfen.